CVI-1700系统由SGL-1700L真空管式炉，HQZ-Ⅳ混气系统，真空压强控制系统，尾气冷凝收集处理系统等组成。真空泵采进口抗腐蚀隔膜真空泵，真空度可达到7.5x10-1Torr；可实现多路混合气体化学气相沉积和扩散试验。 | |
主要技术参数： | |
SGL-1700L 真空管式炉 | 双层炉壳间配有风冷系统，有效保证外壳表面温 日本技术真空吸附成型的优质高纯氧化铝多晶纤维固化炉膛，保温性能好 加热元件采用优质U型硅钼棒，表面负荷高，大大提高了其使用寿命 |
机器电源 | AC220V，50/60Hz；额定功率6KW |
炉管 | 采用99氧化铝刚玉管，致密度高，经久耐用，不易断裂 尺寸：Φ80*/1000mm 刚玉支撑架，有效保证料件处于温区中心 |
法兰及支撑 | SUS304不锈钢快速水冷法兰，长期水冷无腐蚀 一个卡箍就能完成法兰的连接，放、取物料方便快捷 可调节的法兰支撑，平衡炉管的受力支撑 包含进气、出气、真空抽口针阀，KF密封圈及卡箍组合，4个密封硅胶圈等 |
加热系统 | 加热元件：4根U型硅钼棒 加热区长度：280mm 恒温区长度：100mm 工作温度：≤1600℃ 升温速率：≤10℃/min |
温控系统 | 温度控制采用人工智能调节技术，具有PID调节、自整定功能 50段升降温程序 测温元件：B型双铂铑热电偶 恒温精度：±1℃ 超温、断偶故障警报及断电保护 |
HQZ-Ⅳ 混气系统 | 高精度质量流量计通过数据接口连接电脑，配置App实时人机交互界面 四通道质量流量控制，可同时通入四种不同气体 内置不锈钢混气箱，每路气体管路均配有逆止阀 每路气体进气管路配有不锈钢针阀 流量规格：0~30SLM 控制精度：±1.0％F.S |
真空系统 | 采用德国LABOPORT小型抗腐蚀隔膜真空泵，可用于腐蚀性气体和蒸汽介质 真空度可达7.5x10-1 Torr 可长时间连续工作，无须担心泵因过热保护而中止实验 可选配真空表，实现对真空及压力的调节控制 配置气体尾气处理系统 |
冷凝系统 | 采用低温恒温槽，最低温度可达-20℃ 内置不锈钢真空冷凝灌，采用KF接头，清理收集方便 槽内冷液可外引,冷却机外实验容器,也可在槽内直接进行低温、恒温实验 |
